慣性傳感器是一種傳感器，主要是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動、旋轉和多自由度(DoF)運動，是解決導航、定向和運動載體控制的重要部件。MEMS慣性傳感器，主要應用于消費電子及汽車領域，是支撐我國科技發展的重要的底層硬件之一。

1. 中國MEMS慣性傳感器行業定義 根據國家標準GB7665-87，傳感器是能感受規定的被測量并按照一定規律（數學函數法則）轉換成可用信號的器件或裝置。慣性傳感器是一種用于檢測被 測物體慣性力，進而測量其加速度、角速度及相應運動狀態變化的傳感器。MEMS慣性傳感器是利用MEMS微加工技術和半導體集成電路制造技術制作 而成的慣性傳感器，由質量塊、彈性元件、敏感元件等機械結構件（傳感器芯片）和信號處理電路（ASIC）等部分組成。

(資料圖)

2. 中國MEMS慣性傳感器行業分類 可以根據根據被測物理量，將MEMS慣性傳感器分成三類。

3. 中國MEMS慣性傳感器行業特征 慣性傳感組合（IMU）是基于MEMS技術的慣性傳感器組合，由加速度計和陀螺儀共同組成，基于加速度計和陀螺儀原理，測量功能全面，可測量空間多 個方向的加速度和角速度。其行業特征包括產品下游應用廣泛、中國本土競爭力弱、細分市場差異化。

4. MEMS慣性傳感器發展歷程 1954年，壓阻效應的出現為微型壓力傳感器的研制提供了理論基礎，而60年代Draper實驗室對MEMS加速度計的研發工作啟動也標志著該行業進入啟動期 階段，在啟動期期間，多項革命性的產品出現，為后來的產品提供了原型；經過了40年左右的啟動期過渡，美國ADI公司研制出世界上第一款單片集成的 商用陀螺儀ADXRS標志著該行業的高速發展期正式開始，MEMS加速度計不斷向著輕量化、高精度、經濟化的方向發展。

如今，經過十余年的技術追趕，國內廠商從籍籍無名逐漸走上市場頭部舞臺。為明晰產業發展現狀，判斷產業發展方向，芯謀研究特組織分析師團隊調研相關市場并撰寫成文。

中國MEMS慣性傳感器產業鏈情況

中國MEMS慣性傳感器行業產業鏈分為三個環節，上游包括材料、設備及EDA；中游包括設計、晶圓制造、封測等，其中晶圓制造又可分為MEMS晶圓制造企業和IDM企業兩類；下游終端廠商覆蓋消費電子、汽車、工業、醫療、航天等多個領域。MEMS慣性傳感器對于制造節點要求不高，但工藝要求較為特殊，產業鏈條鏈路較為復雜，故而國際龍頭廠商為增強設計－生產協同整合能力，多采用IDM模式。國內廠商因規模較小，整體以代工為主，部分廠商為IDM模式。

中國慣性傳感器市場分析

1．市場規模和增長趨勢

中國MEMS慣性傳感器市場主要分為民用市場和軍規級市場，由于軍規產品通常成本高昂，尺寸較大，多為非標產品且應用場景和需求量較特殊，故本報告市場情況僅包含民用市場情況。

近些年來，MEMS技術理論研究持續進步、工藝水平不斷提高，不僅大幅降低了MEMS慣性傳感器的制造成本，而且顯著提升了其測試精度和環境適應性等性能指標，使得MEMS慣性傳感器在下游得到廣泛應用。中國蓬勃的消費電子產業為MEMS慣性傳感器市場需求提供基礎支撐，幾乎每一類可測量運動狀態或受運動狀態影響的消費電子產品均搭載了MEMS慣性傳感器，因此，中國MEMS慣性傳感器市場在過去幾年中呈現逐年增長的趨勢，2022年市場規模總量為77.4億元。中國MEMS慣性傳感器市場未來五年的主要增長驅動來自下游自動駕駛汽車，機器人和工業設備市場的爆發。尤其是在自動駕駛領域，MEMS慣性傳感器將為汽車自動駕駛提供動態導航輔助功能。預計中國慣性傳感器市場將以10.2%的增速快速增長，至2027年達125.7億元。

中國市場競爭分析

1．市場競爭格局

MEMS加速度計多與MEMS陀螺儀搭配使用，其設計和加工技術已日趨成熟，民用領域對成本、尺寸、產能規模等方面均有較高的綜合要求。2022年，中國加速度計市場主要供應商被國際廠商占據。其中，BOSCH是市場份額最大的MEMS慣性傳感器廠商，占28%。其次是ST和Murata，分別占18%和12%。

相比Bosch、ST等國際領先企業，本土企業仍處于跟隨狀態，市場占有率低、營收規模小、技術積累少、客戶資源少、產品驗證機會少。隨著本土加速度計的技術逐漸成熟，目前各大本土廠商正在持續發力追趕。士蘭微和美新半導體是本土廠商中份額最大的，在中國市場所有廠商中分列第五、第六，占比依次為9%和7%。其余前五大本土廠商為明皜傳感、矽睿科技和敏芯股份，市場份額分別為4%、1%和不足1%。

國內MEMS陀螺儀市場主要廠商為Bosch、ST、TDK等國際巨頭，國內企業為深迪半導體、美新半導體、矽睿科技等。由于國內市場細碎，各廠商銷售額較小不易統計排名，故不做展示。

MEMS IMU市場份額分布相對集中，國際廠商占據壟斷地位。前三名國際廠商共占據近80%市場份額，前五名國際廠商共占據超90%市場份額。其中BOSCH以33%的市場份額排名第一，ST和TDK分別以25%和21%的市場份額緊隨其后。

MEMS慣性傳感器在國內發展時間較短，但受益于下游行業的蓬勃發展，其市場規模增速較快。近年來，MEMS慣性傳感器在汽車、智能手機、平板電腦、無人機、工業自動化等領域的應用范圍不斷擴大。例如，在智能手機和平板電腦中，MEMS慣性傳感器可以實現多種應用，如自動橫豎屏切換、運動感應、指南針、虛擬現實等。在汽車和工業自動化中，MEMS慣性傳感器可以實現車輛姿態控制、自動駕駛、高精度導航等應用。

隨著技術的不斷進步，MEMS慣性傳感器正朝著高精度、高可靠、小體積、集成化、實用化、低成本的方向發展，行業的規模效應和頭部效應也愈發明顯，只有頭部企業才能通過降低生產成本、提升產品性能、提高產品穩定性與可靠性等方面來占據市場份額，實現與下游大客戶的綁定。

關鍵詞：